測量真空爐的溫度均勻性
1. 準備工作
將測量熱電偶及控溫熱電偶按GB/ J351 —1996 《中華人民共和國國家計量鑒定規程》中相關規定進行檢測,檢測合格方能進行爐溫均勻性測定。自爐體拆下測溫孔的蓋板,將9 根經過檢測合格的熱電偶依次穿上密封墊圈、橡膠墊圈,自法蘭孔中引入爐腔內,并依次按圖1 位置固定在位于爐門口支撐架上,支撐架的尺寸為有效加熱尺寸。將支撐架小心地移入爐腔內,放在爐床上,調整其位置,使之恰好與有效加熱空間重合。固定測溫法蘭的熱電偶孔,依次放入密封墊圈,橡膠墊圈上涂布真空脂,旋緊壓緊螺栓,安裝好法蘭。按操作規程手動先后啟動真空機械泵、真空羅茨泵抽真空,直到工作真空度到達2 Pa 后,停機30 mi n ,觀察真空計讀數,看壓升率是否在正常的0. 5Pa/ h 之內,正常則繼續進行爐溫均勻性的測量,不正常則重新調整旋緊螺栓,重新測定壓升率,直到正常,才能繼續進行爐溫均勻性的測定。
2. 測定過程
根據工藝需求進行選定測量溫度點為650 ℃、850 ℃和1000 ℃,在FP21 控溫儀表上,設定升溫曲線。在控制偶到設定溫度120min 后,開始測定各支熱電偶的值。每隔5min 讀取1 次,連續3 次,如果各點溫度在所要求溫度的±5 ℃ 以內,則此溫度點測量完畢,否則繼續等溫,直到溫度均勻或時間到達3h ( 工藝設定的保溫時間) 為止并記錄各點的溫度。調整FP21 表,自650 ℃升溫至850 ℃,保溫120min,重復650 ℃溫度點測量步驟。同樣自850 ℃升溫到1100 ℃,保溫120min,重復650 ℃溫度點測量步驟。以上數據分別填入記錄表中,完成測定后,按正常的空爐冷卻步驟進行降溫。
3. 恢復設備
打開爐門,拉出測量支架,拆開固定熱電偶的鐵絲,拆下法蘭盤,安裝好原蓋板,按正常使用進行壓升率測試,按操作規程手動先后啟動真空機械泵、真空羅茨泵抽真空,直到工作真空度到達2Pa 后,停機30min,觀察真空計讀數,看壓升率是否在正常的0. 5Pa/ h 之內,合格則繼續,設備可以正常使用,否則繼續重新安裝原測溫口蓋板。從測溫法蘭盤中拆下測量熱電偶,注意抽出時要小心取直,以防止折斷、損壞熱電偶。